各国洁净室(区)空气洁净度级别表

各国洁净室(区)空气洁净度级别表
包含了国内外各种标准,本文主要介绍一下ISO14644-1(国际标准)、各国洁净度等级近似对照表、各国洁净度等级近似对照表、洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级供大家参考。
洁净室(区)空气洁净级别表
洁净度级别
尘粒最大允许数/立方米
≥0.5μm尘粒数
≥5μm尘粒数
微生物最大允许数
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100级
3,500
0
5
1
10,000级
350,000
2,000
100
3
100,000级
3,500,000
20,000
500
10
300,000级
10,500,000
60,000
1000
15
ISO14644-1(国际标准)
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(空气粒子数个/立方米)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
ISO Class7
352,000
83,200
2,930
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

各国洁净度等级近似对照表

个/M≥0.5um
ISO
14644-1(1999)
US
209E(1992)
US
209D(1988)
EEC
cGMP(1989)
FRANCE
AFNOR(1981)
GERMANY
VDI 2083(1990)
JAPAN
JAOA(1989)
1
3.5
2
0
2
10.0
M1
35.3
3
M1.5
1
1
3
100
M2
353
4
M2.5
10
2
4
1,000
M3
3,530
5
M3.5
100
A+B
4,000
3
5
10,000
M4
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
4
6
100,000
M5
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
M6
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
M7

 

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

空气洁净度等级 [1]  (N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m³)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
2
100
24
10
4
3
1000
237
102
35
8
4(十级)
10000
2370
1020
352
83
5(百级)
100000
23700
10200
3520
832
29
6(千级)
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7(万级)
352000
83200
2930
8(十万级)
3520000
832000
29300
9(一百万级)
35200000
8320000
293000

 

概述
空气洁净度等级(air cleanliness class):洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。
测试
一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
(二)动态测试
洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
二、空态、静态测试
(一)测试前的准备
1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。
2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。
(二)测试内容
1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;
2. 洁净室压力值;
3. 层流洁净室断面风速和气流流向;
4. 洁净工作区的洁净度;
5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;
6. 洁净室内噪声。
(三)洁净工作区空气洁净度的测试方法
对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微镜计数法。
光散射粒子计数法:
1. 光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级:每次采样量大于或等于0.3升。100,000级:每次采样量大于或等于0.1升。对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。
2. 采样注意事项:
①采样管必须干净,连接处严禁渗漏。
②采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于1.5米。
③采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。
④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。
3. 测点布置:
①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。
②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为0.5-2.0米,粒径大于或等于0.5μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米,增加3-5个测点。
4. 数据整理:
①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。
②对于大于或等于0.5μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净室取各测点的平均值。
(四)正压值测定应采用精度可达0.01毫米水柱的微压计。
三、动态测试
在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。

相关新闻

联系我们

020-39961033

在线咨询:点击这里给我发消息

邮件:52047082@qq.com

李经理 13928758616

唐小姐 15989000960