电子厂净化工程设计规范

电子厂净化工程设计规范
一、总则
1.1本规范适用于新建、改建和扩建的电子厂净化工程的设计，包括净化区域的规划、建筑设计、设备选型、安装及调试等。

1.2净化工程设计应遵循设计标准、行业标准和技术规范，确保工程质量、安全、环保和经济效益。

二、术语和定义
2.1净化度：指空气中尘埃、微生物等有害物质浓度的控制程度。

2.2净化区域：指通过空气净化设备对空气进行过滤，达到一定净化度的区域。

2.3生物洁净室：指采用空气层流或混合流净化技术的洁净室，主要用于生产生物制品、药品等。

2.4 物理洁净室：指采用空气过滤技术，控制空气中尘埃等有害物质浓度的洁净室。

三、净化区域规划
3.1净化区域应与生产区域分开，避免交叉污染。

3.2净化区域应根据生产要求划分不同的净化等级，并采取相应的净化措施。

3.3净化区域的设计应考虑人流、物流的合理流向，减少交叉污染的可能性。

四、建筑设计
4.1净化区域的建筑结构应具有足够的强度和密闭性，包括高效过滤器、FFU风机过滤单元、高效送风口以保证净化效果。

4.2净化区域的地面、墙面、顶面应采用易于清洁、防静电、耐腐蚀的材料。

4.3净化区域的门窗应密封良好，并采取防尘、防虫措施。

五、设备选型与安装
5.1空气净化设备应选用高效过滤器，其过滤效率标准。

5.2空气净化设备的选型应考虑净化等级、处理风量、能耗等因素。

5.3空气净化设备的安装位置应合理，风淋室、传递窗等确保气流方向和净化效果。

5.4空气净化设备的控制系统应具备实时监测、报警和远程控制功能。

六、空气净化
6.1净化区域应采用空气层流或混合流技术，确保空气流向和流速。

6.2空气净化设备应定期清洁和维护，以保证其净化效果。

6.3净化区域的温度和湿度应控制在适宜范围内，以保证生产环境稳定。

七、防尘与防菌
7.1净化区域应采取有效的防尘、防菌措施，如使用防静电地面、防尘服等。

7.2净化区域的人员应经过专业培训，遵守净化操作规程。

八、安全与环保
8.1净化工程设计应充分考虑安全与环保要求，确保生产安全和环境保护。

8.2净化工程的设计有关消防安全、职业健康等。

九、验收与运行
9.1净化工程竣工后，应进行验收，包括净化度检测、设备运行测试等。

9.2净化工程投入运行后，应定期进行维护和检测，确保净化效果。

十、附则
10.1本规范自发布之日起实施。

10.2本规范由电子工业标准化研究院负责解释。

10.3本规范如有修改，将另行通知。